HDZ-9220

Máy khắc ID wafer

HDZ-9220

Đặc điểm máy

1. Được thiết kế để khắc ID trên wafer bán dẫn, tương thích với wafer 6 inch và 8 inch

2. Phù hợp với các vật liệu wafer phổ biến: Si, GaAs, SiC

3. Vận hành hoàn toàn tự động, trang bị mô-đun lọc FFU

4. Trang bị robot hai tay; tùy chọn mô-đun cấp liệu SMIF

5. Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI, hỗ trợ giao thức truyền thông SECS/GEM


Lĩnh vực ứng dụng

Chủ yếu dùng để khắc ID trên wafer 12 inch trở xuống làm từ Si, GaAs, SiC, EMC, lớp chống hàn và các vật liệu khác.


Top