

1. Tương thích với wafer 8 inch trở xuống; Load Port tùy chọn tương thích với wafer 12 inch
2. Tay máy hai tay, giúp nâng cao hiệu quả gia công
3. Trang bị bộ căn chỉnh chuyên dụng, cho phép thiết lập linh hoạt vị trí khắc ở mép
4. Cơ cấu lấy nét điện, có thể điều chỉnh chiều cao theo độ dày sản phẩm
5. Tay máy được trang bị chức năng Mapping để phát hiện wafer xếp chồng và lệch vị trí
Model máy | HDZ-9222 |
Bước sóng laser | Nguồn laser UV, xanh lục và hồng ngoại |
Phương thức cấp liệu | Tay máy hai tay |
Phương pháp làm mát | Làm mát bằng không khí / làm mát bằng nước |
Độ chính xác định vị lặp lại khi gia công cuối cùng | ±0,1 mm |
Loại sản phẩm gia công | Wafer 8 inch trở xuống (Load Port tùy chọn tương thích với wafer 12 inch) |
Số wafer gia công mỗi giờ | 120-150 wafer |
Định dạng tệp được hỗ trợ | DXF, PLT |
AC 220 V, 50/60 Hz | |
Nguồn khí | 0,6-0,8 MPa |
2000 mm × 1200 mm × 1850 mm |