

1. Laser UV 355 nm, hiệu năng ổn định trong thời gian dài, chất lượng điểm sáng tốt.
2. Bàn làm việc X-Y-Z-θ có độ tin cậy và độ chính xác cao, hiệu năng tăng tốc và giảm tốc vượt trội, giúp nâng cao năng suất.
3. Wafer được cố định bằng chân không trong quá trình bàn máy di chuyển.
4. Wafer được định vị theo điểm đánh dấu trên wafer để bảo đảm độ chính xác cắt.
5. Hệ thống phần mềm vận hành hiệu suất cao, linh hoạt, với giao diện đơn giản và súc tích.
6. Nạp/dỡ liệu tự động, vận chuyển bằng robot và tự động dò cạnh.
Phù hợp để cắt wafer 2 inch, 4 inch, 8 inch và 12 inch.
Mẫu máy | HDZ-WUVC100 | HDZ-WUVC200 |
Công suất laser | 15 W | 15 W |
Bước sóng laser | 355 nm | 355 nm |
Độ chính xác định vị lặp lại trục XY | ±1 µm | ±1 µm |
Độ chính xác định vị lặp lại trục θ | ±15 s | ±15 s |
Độ rộng đường cắt | >15 µm | >15 µm |
Chiều sâu cắt | >25 µm | >25 µm |
Tốc độ cắt (*Tốc độ cắt thay đổi tùy theo từng sản phẩm) | 100 mm/s | 100 mm/s |
Phương thức nạp và dỡ liệu | Thủ công | Vận chuyển bằng robot; tự động dò cạnh |
Loại sản phẩm gia công | Wafer 2 inch-12 inch | Wafer 2 inch-12 inch |
Điện áp nguồn, yêu cầu cấp điện | AC 220 V, 50 Hz | AC 220 V, 50 Hz |