Hệ thống hiệu chỉnh điện trở bằng laser độ chính xác cao

Đặc điểm máy

1. Hệ thống đo PMU tự phát triển có độ chính xác cao, tốc độ cao và tính nhất quán tốt, thiết kế toàn dải và hỗ trợ điều chỉnh điện trở.

2. Hệ thống phần mềm điều chỉnh điện trở tự phát triển, hỗ trợ nhiều kiểu đường cắt hiệu chỉnh điện trở và đáp ứng yêu cầu tùy chỉnh.

3. Chức năng mạnh, cho phép điều chỉnh điện trở, điện áp AC/DC và các thông số dòng điện.

4. Độ ổn định và độ tin cậy cao, không xảy ra trôi thông số sau khi điều chỉnh và hiệu chỉnh.

5. Chi phí vận hành và bảo trì thấp, tiêu thụ năng lượng thấp, hiệu suất cao.

6. Độ an toàn cao, được trang bị các chức năng chống bụi, chống tĩnh điện, bảo vệ chống rò điện và bảo vệ an toàn cá nhân.

7. Các kiểu đường cắt laser gồm kiểu I, kiểu II, kiểu L, kiểu U, kiểu J, kiểu M, kiểu quét, kiểu I muster, kiểu I indent, kiểu L indent và kiểu U indent.

Lĩnh vực ứng dụng

Hệ thống hiệu chỉnh bằng laser có nhiều chức năng điều chỉnh. Hệ thống có thể hiệu chỉnh mạng điện trở màng mỏng, mạng tụ điện và các linh kiện tích hợp màng mỏng nền gốm, đồng thời thực hiện hiệu chỉnh chức năng cho mạch tích hợp lai.

Ví dụ bao gồm:

Hiệu chỉnh điện trở chip (01005, 0201, 0402, 0603, 0805, 1206, 1210, 2010, 2512);
Hiệu chỉnh mạch màng dày (cho các ứng dụng trung và cao cấp, bao gồm điện tử ô tô, cảm biến, mạch tích hợp hàng không vũ trụ và quân sự, điện tử truyền thông, thiết bị đo, ống gia nhiệt, điện tử công nghiệp, mạch vi ba tần số cao và công suất cao);
Hiệu chỉnh chức năng mạch (điều chỉnh điện áp đầu ra, dòng điện và các tín hiệu chức năng khác của mạch);
Hiệu chỉnh mạch màng mỏng, điện trở màng mỏng và các đối tượng khác.

Giới thiệu

Hệ thống hiệu chỉnh bằng laser hội tụ chùm laser siêu mảnh lên điện trở màng dày. Theo các lệnh được lập trình sẵn trên máy tính, chùm laser tiến hành hiệu chỉnh điện trở để thay đổi diện tích tiết diện của điện trở, qua đó điều chỉnh giá trị điện trở. Đồng thời, hệ thống đo tốc độ cao giám sát giá trị điện trở theo thời gian thực để bảo đảm giá trị này tiến gần đến giá trị mục tiêu. Khi điện trở đạt giá trị mục tiêu, chùm laser sẽ tắt để thực hiện hiệu chỉnh điện trở chính xác.

Hiệu ứng xử lý

Mẫu máy		Hệ thống hiệu chỉnh điện trở bằng laser độ chính xác cao
Laser	Loại laser	Laser sợi quang
	Bước sóng laser trung tâm	1064 nm
	Công suất đầu ra	20 W
	Tần số lặp	1–100 kHz
	Độ rộng xung	3–500 ns
	Kích thước điểm hội tụ điển hình	15–40 μm
Định vị chùm tia	Phạm vi quét	70 mm × 70 mm
	Độ phân giải quét	1 μm
	Độ chính xác định vị lặp lại	±1 μm
Thị giác	Hệ thống giám sát đồng trục	Camera giám sát 500W pixel
Bàn làm việc	Bàn chuyển động	Động cơ tuyến tính với thước quang
	Phạm vi chuyển động	200 mm × 300 mm
	Độ chính xác định vị lặp lại	±2 μm
	Tốc độ chuyển động tối đa	1000 mm/s
Hệ thống đo	Khả năng tương thích của hệ thống đo	Tương thích với phép đo điện trở thấp, điện trở trung bình và điện trở cao
	Phương pháp đo	Phép đo 2 dây hoặc phép đo 4 dây
	Đo điện trở	Dải đo 50 mΩ–100 MΩ
		Điện trở thấp: ±【0,05% + 0,5%/R (Ω)】
		Điện trở trung bình: ±0,05%
		Điện trở cao: ±【0,05% + 0,05% × R (MΩ)】
	Đo điện áp	Dải đo: -10 V–+50 V
	Đo điện áp	Độ chính xác đo toàn dải: 0,01%
	Kênh đo	48–288 (48 kênh trên mỗi bảng, có thể mở rộng)
	Thời gian đo	2 μs/lần, có thể điều chỉnh theo yêu cầu của khách hàng
	Bù sai số	Hiệu chuẩn tự động bằng một nút