

1. Hệ thống đo lường PMU do Han’s Laser tự phát triển, độ chính xác đo điện trở lên đến ±0,05%.
2. Hệ thống phần mềm hiệu chỉnh do Han’s Laser tự phát triển, hỗ trợ nhiều dạng đường hiệu chỉnh.
3. Hỗ trợ hiệu chỉnh các tham số gồm điện trở, điện áp AC và DC cũng như dòng điện.
4. Ổn định và đáng tin cậy; các tham số sau hiệu chỉnh duy trì độ ổn định cao, không bị trôi.
5. Chi phí vận hành và bảo trì thấp, hiệu suất tổng thể cao và tiêu thụ điện năng thấp; tích hợp các chức năng bảo vệ.
6. Chức năng lập trình CNC tích hợp giúp nhanh chóng đáp ứng các yêu cầu tùy chỉnh của người dùng.
Các hệ thống hiệu chỉnh bằng laser được sử dụng rộng rãi cho mạch màng mỏng và điện trở màng mỏng chính xác, bao gồm hiệu chỉnh bằng laser trên wafer điện trở màng mỏng. Các điện trở màng mỏng này được sử dụng trong các mạch điện tử chính xác như bộ ghép, bộ lọc, bộ suy hao, bộ kết cuối và bộ khuếch đại.
Thiết bị hiệu chỉnh bằng laser có thể dùng để hiệu chỉnh giá trị điện trở màng dày và hiệu chỉnh chức năng của mạch màng dày. Mạch màng dày được ứng dụng rộng rãi trong điện tử công nghiệp và điện tử công suất, điện tử ô tô, cảm biến và thiết bị đo, điện tử máy tính và truyền thông, điện tử tiêu dùng và thiết bị y tế, hàng không vũ trụ và các lĩnh vực khác.
Mẫu máy | HTS800-RH/ HTS801-RH | |
Hệ thống laser | Loại laser | laser sợi quang / laser UV |
Bước sóng | 1064 nm / 355 nm | |
Công suất đầu ra | 20 W / 1–4 W | |
Tần số lặp lại | 1–100 kHz / 1–500 kHz | |
Độ rộng xung | 3–500 ns / <50 ns | |
Hệ quang học | Loại | đầu quét galvanometer tốc độ cao |
Kích thước điểm laser điển hình | 15–40 μm / 6–15 μm | |
Phạm vi quét | 70 × 70 mm / 30 × 30 mm | |
Độ phân giải quét | 1 μm | |
Độ chính xác lặp lại | ±2 μm | |
Hệ thống thị giác | Giám sát đồng trục | camera công nghiệp 5 megapixel |
Định vị cận trục | camera công nghiệp 5 megapixel kèm bộ điều khiển thị giác thông minh | |
Bàn máy | Kiểu bàn máy | động cơ tuyến tính với thước quang |
Phạm vi X/Y | 300 × 300 mm | |
Độ chính xác lặp lại | ±2 μm | |
Bàn gá | Điều chỉnh điện, phạm vi xoay: ±5° | |
Kích thước đế gia công (có thể tùy chỉnh) | 100 × 100 mm | |
Hệ thống đo | Khả năng tương thích | đo điện trở thấp, trung bình và cao |
Phương pháp đo | 2 dây hoặc 4 dây | |
Điện trở | Dải: 100 mΩ–100 MΩ | |
Thấp: ±[0,05% + 0,5%/R (Ω)] | ||
Trung bình: ±0,05% | ||
Cao: ±[0,05% + 0,05% × R (MΩ)] | ||
Điện áp | Dải: -10 V đến +150 V | |
Độ chính xác toàn thang 0,01% | ||
Kênh đo | 48 (có thể mở rộng lên 144) | |
Thời gian đo | 3 μs/lần, có thể điều chỉnh theo nhu cầu khách hàng | |
Bù sai số | Hiệu chuẩn tự động bằng một lần nhấn | |